中国半导体设备产业取得突破性进步，半导体设备及零部件企业超200家

• 2023-08-11 11:15:59 来源：维科号

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来自第11届中国电子专用设备工业协会半导体设备年会暨产业链合作论坛开幕式上的消息：据中国电子专用设备工业协会对国内77家规模以上半导体设备制造商统计，2022年中国本土半导体设备销售收入累计完成593亿元，与2021年的386亿元相比，增长了53.6%。其中，前10家设备制造商完成销售收入438亿元。

上述数据是中国电子专用设备工业协会理事长、北方华创科技集团股份有限公司董事长赵晋荣先生向活动致开幕辞时透露的。第11届中国电子专用设备工业协会半导体设备年会暨产业链合作论坛于今天上午在无锡正式开幕。大会举行了简短的开幕式，行业内外近千人参加了开幕式。

赵晋荣理事长在致辞中强调指出，在日益复杂的国际形势下，中国本土设备业取得了突破性的进步。目前，我国半导体设备及零部件企业的数量已经超过200家。近年来，本土设备企业抓住有利机遇，着力发展自身技术，多家龙头骨干装备企业，在刻蚀、薄膜、清洗、等离子注入、CMP及封装测试等关键设备方面都取得了突破，并进一步向系列化、多品类、平台型企业转型，取得了可喜的成绩。

同时，国内从事材料和零部件的龙头企业也呈现出快速增长的趋势。在射频电源、流量计、机械手、真空泵、重点检测以及精密加工、精密陶瓷、高纯石墨、高纯板材，各种不锈钢及精细化工材料等方面都取得了突破性的进展。

赵晋荣理事长在致辞的最后呼吁，面对当前复杂多变的国际形势，中国产业界必须坚定信心，勇于创新，坚持合作共赢的理念和格局，共同开创中国半导体行业的美好未来！

在赵晋荣理事长的简短致辞后，受大会邀请，华润微电子有限公司执行董事、总裁李虹博士和中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼首席执行官尹志尧博士先后登台，分别发表了题为《创“芯”引领半导体产业链发展新格局》、《集成电路设备产业发展的现状和挑战，人类第三次工业革命的到来》的主旨演讲。

李虹博士针对中国半导体先进制程受限特别指出，在半导体市场中，在超越摩尔定律的部分，中国有蓬勃发展的新能源、汽车电子、工业控制、航空航天等产业，特别是近两年来中国的新能源以及汽车电子领先全球，这些中国整个半导体产业进一步发展的重要依托，也是未来半导体设备产业的重要机会。

尹志尧博士则在演讲中强调，中国有句古话叫“工欲善其事，必先利其器”，如果不能做出高精尖的半导体设备，就做不出先进的芯片，没有芯片也就没有再上一层的各式各样的产品，以及产品之上的各种应用。因而，近年来，美国对中国集成电路产业发起“限制”，最主要的动作还是聚焦打击中国获得先进的半导体制造设备。

曾在美国半导体行业工作近二十年的尹志尧博士回顾说，半导体设备，除了光刻机以外，大部分是在美国开始开发后来成功的。中国上世纪七八十年代赴美的一些留学生在这些开发中，有的担纲了领衔开发的角色，有的则是作为主要的技术骨干参与其中。尹志尧博士用一页PPT显示，中国赴美留学生参与开发的设备有：CCP等离子刻蚀机、ICP等离子刻蚀机、PECVD设备、LPCVD设备、ALD设备、CMP设备、ECP设备、光学检测设备、电子束检测设备、MOCVD等。

由上，尹志尧博士指出，现在美国政府想用设备来卡我们中国，第一个是完全没有道理，第二个也是没有任何好的结果，因为大部分参与这些设备研发的领军的当年的中国留学生都已经回到中国，他们中的很多人现在是中国本土设备企业的骨干和领导，所以，我们有充分的信心，假以时日，中国一定会发展出有国际竞争力的设备产业。

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